The process cannot access the file because it is being used by another process

Boa tarde a todos
Recebo a mensagem de erro do tópico de forma aleatória quando o processamento passa exatamente ao executar a linha do aFiles[i].memFile.WriteTo(fileStream);
Se colocar um breakpoint logo na linha acima e avançar o processamento com [F11], nunca ocorre o erro.
E se o processamento for sem interrupções de “depurações”, o erro ocorre de forma alternada.

static void SendReportToDisk(ref stAttachExportFiles[] aFiles, string aFolderToSave = "")
    {
        if (aFolderToSave == string.Empty)
            aFolderToSave = System.IO.Path.GetTempPath();
        for (int i = 0; i < aFiles.Length; i++)
        {
            string _FileName = aFiles[i].vcFileName.Replace(@"/", "-");
            using (var fileStream = File.Create(String.Format(@"{0}\{1}", aFolderToSave, _FileName)))
                aFiles[i].memFile.WriteTo(fileStream);
            aFiles[i].vcFileName = String.Format(@"{0}\{1}", aFolderToSave, _FileName);

        }
    }

Muito obrigado

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